末日这种事当然是要上报啦 第51节

  魏天华搓着手,急切之情溢于言表:

  “严总工程师坚持要等您和安全局的同志们到场,才肯启动样机的最终测试!”

  “快,这边请,我们直接过去!”

第55章 样机完成

  张云笑了笑,在魏天华的引领下,与白鸦一同快步走向大楼深处。

  通往中心实验室的通道同样戒备森严,但内部环境已经与张云上次来时截然不同。

  数百亿资金的持续投入,在这里得到了最直观的体现。

  走廊两侧是巨大的透明观察窗,可以看到内部高度洁净的车间。

  空气循环系统发出低沉的嗡鸣,维持着恒温恒湿的无尘环境。

  透过观察窗,能看到大量闪烁着指示灯的先进设备,这些之前还没有。

  其中不乏从全球顶尖供应商处以巨大代价紧急采购,通过特殊渠道获得的尖端半导体制造装备。

  据魏天华之前汇报,这些工业母机有超过五成都集中部署在了这个核心项目区。

  这里,俨然已经成为了全球最顶尖的半导体研发与制造中心之一。

  巨大的超净间机房内,数十架设备正在运行。

  得亏有魏天华带路,否则走进这复杂的空间确实容易迷路。

  七拐八拐后,他们抵达了中心区域的观测控制台。

  张云看到了严正行。

  仅仅两个月,这位科学家看起来邋遢了不少。

  头发凌乱,眼窝深陷,双眼布满血丝,脸上是浓重的疲惫。

  他身边的陈进一状态更差,眼睛浮肿,顶着明显的黑眼圈。

  但两人共同的特点是异常亢奋,不知道的还以为两人吸了什么不该吸的东西。

  “张云先生!您可算来了!”

  严正行一发现张云,立刻激动地想要下来迎接,差点从金属楼梯上栽倒下去!

  “小心!”

  旁边的陈进一反应极快,一把死死拽住了严正行的胳膊,将他稳住。

  两人都惊出一身冷汗。

  “行了,不要那么激动,我这不是来了吗?”

  张云快步上前,生怕对方一个激动直接心脑血管猝死了。

  “好……好,没事。”

  严正行站稳,喘了口气,立刻对陈进一说:

  “老陈,准备启动吧。”

  “我早就安排好了,张顾问你快看啊,这就是我们设计的光刻机样式机。

  看到那个机器了没有,那就是我们设计的超级光源系统。”

  张云顺着看去。

  一台长约二十多米的长方形光刻机样机停放在那里。

  它的外框有些简陋,部分管线尚未封装,显然是临时搭建用于测试的。

  不过用来展示一个光源系统应该绰绰有余了。

  被邀请来参观的上百位科学家与工程师全都站在站台外,目光紧紧的盯着同一处,等待着见证历史的那一刻。

  “开始吧,严工。”张云笑着说。

  “好!”

  严正行深吸一口气,仿佛要将这两个月积攒期待都压入胸腔。

  “启动预热程序!”

  嗡……

  散热系统启动,轻微的冷风从通风口溢出。

  观测窗外的超净间里,人们看到那台二十多米长的样机开始活了过来。

  各种指示灯光次第亮起。

  “能量注入准备就绪。”

  陈进一表情显得有些紧张。

  “启动光源激发。”

  严正行的手指悬停在回车键上方,然后重重敲下!

  嗡!

  一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心脏上的嗡鸣声骤然响起!

  紧接着,所有人的目光都被样机的心脏部位吸引过去。

  那里,一个被多层复杂管道包围的区域,一道光在无声中骤然亮起!

  那道光只能在光谱仪看见。

  介于幽紫与深蓝之间,带着一种非自然的冰冷质感。

  它的光亮异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。

  “波长稳定……13.4纳米!误差低于0.01!”

  在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊。

  “能量输出稳定!转化效率31.7%!天啊!”

  旁边一个年轻的技术员看着仪表盘,失声惊呼。

  31.7%!

  这个数字如同惊雷在控制室里炸开!

  所有人都知道这意味着什么。

  意味着这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全球所有光源系统碾压式的超越!

  它成功粉碎了现有的物理和工程极限!

  那束深邃的极紫外光持续稳定地输出着,为整个光刻系统提供着纯净的画笔!

  “开始曝光测试!”

  严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中。

  指令连续下达。

  样机内部,精密的光学组件开始工作。

  那束凝聚的极紫外光被引导→分束→投射!

  承载着电路图案的掩模板被精准定位。

  下方,是一片预先处理好的硅晶圆。

  时间在紧张到近乎凝固的气氛中流逝。

  只有机器的低鸣、风扇的嗡响和仪器数据刷新的滴答声。

  所有人屏气凝神。

  终于。

  “曝光完成!传送至显影蚀刻单元!”

  又是一段漫长的等待。

  魏天华双手紧紧抓着控制台的栏杆,额间已冒出了冷汗,眼睛却一眨不眨地盯着处理单元的出口。

  当那片经过最终处理的硅晶圆被机械臂小心翼翼地取出,送入高倍电子显微镜下。

  控制室里只剩下粗重的呼吸声。

  巨大的屏幕上,高倍显微图像被清晰地投射出来。

  线条!

  无比清晰,间距极小的电路线条!

  图像旁边,测量软件自动标注出关键数据:

  线宽:7.2纳米!

  套刻精度:1.8纳米!

  “成了……真的成了……”

  魏天华喃喃自语,声音哽咽。

  他缓缓松开抓着栏杆的手,身体微微摇晃了一下。

  这位在半导体行业摸爬滚打了一辈子,看尽了白眼和封锁的老总,此刻再也控制不住。

  滚烫的泪水冲出眼眶,顺着他布满皱纹的脸颊滑落。

  技术壁垒此刻在这清晰的线条面前,被击得粉碎!

  四十年追赶的屈辱,无数次被卡脖子的绝望,无数个日夜的殚精竭虑……

  所有的情绪都化作了这两行滚烫的热泪。

  严正行挺直了腰板,那浓重的疲惫被瞬间驱散。

  他摘下护目镜,用力揉了揉布满血丝的眼睛。

  再戴上时,镜片后的目光锐利如鹰,充满了无与伦比的自豪。

  这是他的技术,在他的主导下,在这片土地上,实现了!

  这不再是图纸上的幻想,是实实在在的,可以触摸的成果!

  陈进一第一时间飞奔到了控制台前。

  那片小小的,承载着7.2纳米电路的晶圆被工作人员小心翼翼地封装好,递到他面前。

  他的双手颤抖得几乎捧不住那个小小的晶片盒。

  他屏住呼吸,如同捧着稀世珍宝,轻轻打开盒盖。

  里面,那枚指甲盖大小的硅晶片静静地躺在特制的衬垫上。

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