魏天华搓着手,急切之情溢于言表:
“严总工程师坚持要等您和安全局的同志们到场,才肯启动样机的最终测试!”
“快,这边请,我们直接过去!”
第55章 样机完成
张云笑了笑,在魏天华的引领下,与白鸦一同快步走向大楼深处。
通往中心实验室的通道同样戒备森严,但内部环境已经与张云上次来时截然不同。
数百亿资金的持续投入,在这里得到了最直观的体现。
走廊两侧是巨大的透明观察窗,可以看到内部高度洁净的车间。
空气循环系统发出低沉的嗡鸣,维持着恒温恒湿的无尘环境。
透过观察窗,能看到大量闪烁着指示灯的先进设备,这些之前还没有。
其中不乏从全球顶尖供应商处以巨大代价紧急采购,通过特殊渠道获得的尖端半导体制造装备。
据魏天华之前汇报,这些工业母机有超过五成都集中部署在了这个核心项目区。
这里,俨然已经成为了全球最顶尖的半导体研发与制造中心之一。
巨大的超净间机房内,数十架设备正在运行。
得亏有魏天华带路,否则走进这复杂的空间确实容易迷路。
七拐八拐后,他们抵达了中心区域的观测控制台。
张云看到了严正行。
仅仅两个月,这位科学家看起来邋遢了不少。
头发凌乱,眼窝深陷,双眼布满血丝,脸上是浓重的疲惫。
他身边的陈进一状态更差,眼睛浮肿,顶着明显的黑眼圈。
但两人共同的特点是异常亢奋,不知道的还以为两人吸了什么不该吸的东西。
“张云先生!您可算来了!”
严正行一发现张云,立刻激动地想要下来迎接,差点从金属楼梯上栽倒下去!
“小心!”
旁边的陈进一反应极快,一把死死拽住了严正行的胳膊,将他稳住。
两人都惊出一身冷汗。
“行了,不要那么激动,我这不是来了吗?”
张云快步上前,生怕对方一个激动直接心脑血管猝死了。
“好……好,没事。”
严正行站稳,喘了口气,立刻对陈进一说:
“老陈,准备启动吧。”
“我早就安排好了,张顾问你快看啊,这就是我们设计的光刻机样式机。
看到那个机器了没有,那就是我们设计的超级光源系统。”
张云顺着看去。
一台长约二十多米的长方形光刻机样机停放在那里。
它的外框有些简陋,部分管线尚未封装,显然是临时搭建用于测试的。
不过用来展示一个光源系统应该绰绰有余了。
被邀请来参观的上百位科学家与工程师全都站在站台外,目光紧紧的盯着同一处,等待着见证历史的那一刻。
“开始吧,严工。”张云笑着说。
“好!”
严正行深吸一口气,仿佛要将这两个月积攒期待都压入胸腔。
“启动预热程序!”
嗡……
散热系统启动,轻微的冷风从通风口溢出。
观测窗外的超净间里,人们看到那台二十多米长的样机开始活了过来。
各种指示灯光次第亮起。
“能量注入准备就绪。”
陈进一表情显得有些紧张。
“启动光源激发。”
严正行的手指悬停在回车键上方,然后重重敲下!
嗡!
一声远比预热时更浑厚,仿佛直接敲击在心脏上的嗡鸣声骤然响起!
紧接着,所有人的目光都被样机的心脏部位吸引过去。
那里,一个被多层复杂管道包围的区域,一道光在无声中骤然亮起!
那道光只能在光谱仪看见。
介于幽紫与深蓝之间,带着一种非自然的冰冷质感。
它的光亮异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。
“波长稳定……13.4纳米!误差低于0.01!”
在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊。
“能量输出稳定!转化效率31.7%!天啊!”
旁边一个年轻的技术员看着仪表盘,失声惊呼。
31.7%!
这个数字如同惊雷在控制室里炸开!
所有人都知道这意味着什么。
意味着这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全球所有光源系统碾压式的超越!
它成功粉碎了现有的物理和工程极限!
那束深邃的极紫外光持续稳定地输出着,为整个光刻系统提供着纯净的画笔!
“开始曝光测试!”
严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中。
指令连续下达。
样机内部,精密的光学组件开始工作。
那束凝聚的极紫外光被引导→分束→投射!
承载着电路图案的掩模板被精准定位。
下方,是一片预先处理好的硅晶圆。
时间在紧张到近乎凝固的气氛中流逝。
只有机器的低鸣、风扇的嗡响和仪器数据刷新的滴答声。
所有人屏气凝神。
终于。
“曝光完成!传送至显影蚀刻单元!”
又是一段漫长的等待。
魏天华双手紧紧抓着控制台的栏杆,额间已冒出了冷汗,眼睛却一眨不眨地盯着处理单元的出口。
当那片经过最终处理的硅晶圆被机械臂小心翼翼地取出,送入高倍电子显微镜下。
控制室里只剩下粗重的呼吸声。
巨大的屏幕上,高倍显微图像被清晰地投射出来。
线条!
无比清晰,间距极小的电路线条!
图像旁边,测量软件自动标注出关键数据:
线宽:7.2纳米!
套刻精度:1.8纳米!
“成了……真的成了……”
魏天华喃喃自语,声音哽咽。
他缓缓松开抓着栏杆的手,身体微微摇晃了一下。
这位在半导体行业摸爬滚打了一辈子,看尽了白眼和封锁的老总,此刻再也控制不住。
滚烫的泪水冲出眼眶,顺着他布满皱纹的脸颊滑落。
技术壁垒此刻在这清晰的线条面前,被击得粉碎!
四十年追赶的屈辱,无数次被卡脖子的绝望,无数个日夜的殚精竭虑……
所有的情绪都化作了这两行滚烫的热泪。
严正行挺直了腰板,那浓重的疲惫被瞬间驱散。
他摘下护目镜,用力揉了揉布满血丝的眼睛。
再戴上时,镜片后的目光锐利如鹰,充满了无与伦比的自豪。
这是他的技术,在他的主导下,在这片土地上,实现了!
这不再是图纸上的幻想,是实实在在的,可以触摸的成果!
陈进一第一时间飞奔到了控制台前。
那片小小的,承载着7.2纳米电路的晶圆被工作人员小心翼翼地封装好,递到他面前。
他的双手颤抖得几乎捧不住那个小小的晶片盒。
他屏住呼吸,如同捧着稀世珍宝,轻轻打开盒盖。
里面,那枚指甲盖大小的硅晶片静静地躺在特制的衬垫上。