“还有张顾问，万分感谢国家的信任和支持！”
他握着严正行的手用力摇了摇，语气里的激动不似作伪。
虽然人是国家塞进来的，但这可是一位能解决光刻机难题的真神！
海天现在最缺的就是这种能扛大梁的重点技术领军人物，这简直是瞌睡遇到了枕头！
“魏总过誉了。”
严正行推了下眼镜，声音平静道：
“能回国效力，是我的荣幸。”
魏天华热情不减：
“几位远道而来，不如我带各位参观一下我们的工房，也让严博士和张顾问给我们把把脉？”
他特意看向严正行，眼中带着期待：
“您简历里提到的光刻机镜头像差补偿方案，我们技术团队研究了很久，一直找不到完美的适配参数。”
“等下参观完工房，还请您不吝赐教！”
张云摇了摇头，这位老总真会说呀，他几次都插不上嘴。
魏天华立刻招呼进来一位穿着白色防静电工服，戴着厚厚眼镜，气质沉稳的中年工程师。
“这是我们公司的技术总监陈进一陈总工。
老陈，陪几位贵客去趟一号超净间。”
“当然没问题，几位跟我来吧。”
在魏天华和陈进一的陪同下，张云三人换上全套防尘服。
经过层层风淋，走进了恒温恒湿，光线柔和得有些冷冽的超净间。
巨大的玻璃罩内，一台银灰色的精密设备正安静运行，如同一只蛰伏的巨兽。
机身上印着［SSA600/20］的标识。
陈进一走到其中一台最为庞大复杂的设备旁，眼神里带着工程师特有的自豪：
“张顾问，严博士，这就是我们海天目前最先进，也是国内唯一能稳定量产28纳米芯片的前道光刻机。”
魏天华点了点头：
“算是我们龙国在光刻领域，目前能拿出的最高答卷了。”
张云的目光扫过这台精密的机器，外壳上蓝色的海天Logo在无影灯下泛着微光。
他开口问道：
“陈工，这台光刻机的参数如何，属于什么水平？”
陈进一笑容一滞，脸色变得有些尴尬。
第34章 不抢就换
陈进一想到张云似乎并非技术工程师的身份，还是耐心的解释了：
“这台SSA600/20采用的是193nm氟化氩深紫外光源。
它的曝光波长达到了28纳米，采用沉浸式光刻技术。
配合我们自研的双工作台系统，每小时能完成120片晶圆的曝光作业，套刻精度控制在3纳米以内。
它的光源系统用了我们自己研发的准分子激光器，稳定性比进口设备提升了15%。
而且重点零部件国产化率超过80%。
当然，和国际顶尖的5纳米光刻机比，还有差距。
但这已经是我们目前能拿出的最好成果了。
目前，我们还在集中攻克7纳米制程的量产问题。”
陈进一的话有些无奈，龙国的半导体行业，尤其是光刻机技术还是太落后了些。
谁都知道半导体领域想要突破，核心中的核心就是光刻机。
如今龙国大部分高端芯片，都需要依赖进口生产。
而且存在技术专利的问题，每年都要花上一大笔授权费用。
眼前这台机子已经是好几年前的产物了，光是7纳米级别的生产就已经卡了他们许多年。
张云听完后，紧接着问道：
“它在七纳米以下的制程上有什么问题吗？”
陈进一没想到他会直接问出这个问题，愣了一下才回答：
“问题还不少，主要是在多重曝光的叠加误差上。
DUV的波长是193nm，从根本上限制了分辨率的理论上限。
目前28纳米波长要实现7纳米制程，需要进行4次曝光。
但每次曝光的定位误差会累积，目前最多只能稳定在9纳米左右，离量产要求的7纳米还有距离。”
严正行听到这里，叹了口气，心里摇了摇头。
这就是他当初为什么离开龙国的原因了。
和世界顶尖的光刻机相差数代的技术，要怎么靠努力去追赶？
但靠张云可以呀！
张云等人此次前来的目的，自然是为了解决芯片生产问题，使其能够在战备状态下提供应有的支持。
不过张云还没有天真到，认为能花几个月时间就造出一台超越EUV光刻机的东西。
虽然张云的脑中确实有全套光刻机的生产技术。
但还是那个问题，技术消化也需要时间。
即使拥有全套 EUV技术图纸和原理知识，并得到国家最高权力的全力支持。
想在两、三个月内从零打造出一台可用的EUV光刻机，仍然是近乎不可能完成的任务。
原因在于EUV光刻机的制造不仅是技术问题，也是极端精密制造，全球顶级供应链整合和复杂系统工程的巅峰体现。
老爱曾经说过，逻辑只能让你从a到b，但想象力可以带你到任何地方。
三个月，你就想走在世界前列，这个想象力需要带着物理课本一起飞。
那真不如去抢算了。
其实原本张云提出的打算是，让国家干脆派一支秘密部队抢了ASML，直接解决所有问题！
这家破公司可是一台EUV都没卖给咱们。
那天他还因为这件事情，和邱将军聊了很长时间。
邱老爷子甚至差一点就要被张云说服了。
毕竟等到末世降临，谁还管什么仁义道德。
不过最终方案没有达成，龙国还是太讲武德了些。
那怎么办呢？
张云很快提出了B方案，高效，快捷，而且合法！
虽然是不抢了，但我们可以换呀。
张云提出的第二个方案，其实邱将军也是万分不情愿。
甚至想要赶紧让人限制张云的行动，千万不能让他跟海外有所联络。
这个方案就是，张云打算将更先进的光刻机光源系统卖给ASML公司，用以购买实体光刻机全套！
对于张云来说，他最宝贵也是最不值钱的，便是脑海中那万千的先进知识。
能够拿出一点，来换取实质性的物品对他来说是非常划算的。
因为他们现在最缺的不是知识，而是时间！
在参观的差不多了之后，众人又回到了会客厅。
张云冲着严正行使了个眼色，对方心领神会，说道：
“魏总，陈工，接下来我们要开展的项目，需要贵公司全力配合。”
“当然没问题，您尽管说。”
魏天华满脸笑意。
“简单说，就是以严某的名义，在海微的技术基础上，研发一套全新的光刻机光源系统。”
话音刚落，陈劲刚已从公文包中取出几份文件，推到魏天华面前：
“这是保密协议，涉及国家最高级别的技术机密。”
“签署之后，海微的中心实验室将由我们全权接管。”
“原有科研团队可保留辅助岗位，但重点研发区域仅限指定人员进入。”
魏天华拿起协议，仔细看了看，上面好几个公章都不简单，心中突然一紧。
他原以为只是引进技术专家和研发资金，最多是成立个专项课题组。
没想到会上升到“全权接管实验室”的地步。
这已经不是合作，更像是一场由国家主导的神密研究。
“这……陈科长。”
魏天华咽了口唾沫，说：
“中心实验室是我们海微的命根子，里面还有好几台正在调试的28纳米光刻机样机……”
“请问这接管的范围是？”
陈劲刚解释：
“协议里写得很清楚，从签署这一刻起，实验室进入最高保密状态！”
“所有进出人员需经过双重核验，通讯设备一律不准带入。”
“内部数据只许在物理隔离的局域网内流转。”
“实验室所有设备、原材料、甚至供电系统都将纳入统一调度。”
“魏总放心，国家会按市场价对占用的资源进行补偿。”
“项目结束后，实验室原貌归还，期间产生的所有技术专利，海微可共享使用权。”
这时，一直沉默的陈进一忍不住开口：
“严博士，您刚才说的新型光源系统……到底是什么技术路线？”